Принцип роботи мініатюрних тензодатчиків в основному заснований на ефекті деформації. Коли датчик піддається зовнішній силі, його внутрішній пружний чутливий елемент зазнає незначної механічної деформації. Ця деформація викликає відповідну зміну опору тензодатчика (деформаційної пластини), прикріпленого або вбудованого в пружне тіло. Датчик зазвичай використовує конструкцію моста Вітстона (повна -мостова схема) для перетворення зміни тензометричного опору на слабкий вихідний сигнал напруги, пропорційний прикладеній силі.
З розвитком технології мікроелектромеханічних систем (MEMS) розмір мініатюрних тензодатчиків значно зменшився. Його основна технологія також розширилася до напівпровідникових п’єзорезистивних чутливих елементів, виготовлення п’єзорезистори на кремнієвих підкладках за допомогою таких процесів, як іонна імплантація та осадження тонкої -плівки. Крім того, інноваційна конструкція гнучкої підкладки дозволяє датчику відповідати вигнутим поверхням для вимірювання.