Мініатюрні тензодатчики, засновані на технології мікроелектромеханічних систем (MEMS), можуть бути зменшені до кількох міліметрів у розмірі та важать лише кілька грамів, забезпечуючи високу точність. Їх застосування-широко. У промисловості вони використовуються для контрольного зважування виробничої лінії, вимірювання упаковки, дозування матеріалу, визначення гальмівної сили автомобіля та обладнання автоматизації.
У побутовій електроніці та розумних переносних пристроях вони інтегровані в кнопки-датчика тиску на смартфонах і функції контролю ваги в розумних годинниках. У галузі медицини вони використовуються в системах керування силою для кінцевих ефекторів роботів, лінійному моніторингу сили в медичних інфузійних насосах, системах зворотного зв’язку з зусиллям для хірургічних роботів і ковтаючих датчиках для безперервного моніторингу шлунково-кишкового тиску.
В аерокосмічній галузі вони використовуються для точних вимірювань у системах приводу супутникових сонячних панелей. У наукових дослідженнях вони придатні для-експериментального обладнання з обмеженим простором. В Інтернеті речей (IoT) і нових енергетичних транспортних засобах вони використовуються в інтелектуальних системах складування для тривимірного позиціонування вантажу та раннього попередження про розряд акумулятора.